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    光谱椭偏仪

     

    光谱椭偏仪SENresearch 4.0

    宽光谱范围和高光谱精度

    SENresearch 4.0 光谱椭偏仪覆盖宽的光谱范围,从190 nm(深紫外)到3500 nm(近红外)。傅立叶红外光谱仪FTIR提供了高光谱分辨率用以分析厚度高达200μm的厚膜。

    没有光学器件运动(步进扫描分析器原理)

    为了获得测量结果,在数据采集过程中没有光学器件运动。步进扫描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光谱椭偏仪的一个独特特性。

    双补偿器2C全穆勒矩阵测量

    通过创新的双补偿器2C设计扩展了步进扫描分析器SSA原理,允许测量全穆勒矩阵。该设计是可现场升级和实现成本效益的附件。

    SpectraRay/4综合椭偏仪软件

    SpectraRay/4 是用于先进材料分析的全功能软件包。SpectraRay/4 包括用于与引导图形用户界面进行研究的交互模式和用于常规应用的配方模式

     

     

    低成本高效益的光谱椭偏仪SENpro

    成本效益

    SENpro是具成本效益的光谱椭偏仪,同时不影响先进测量性能。

    可变入射角

    光谱椭偏仪SENpro包括可变入射角的角度计,40°—90°,步进值5°,用于优化椭偏测量。

    步进扫描分析器

    SENpro具有独特的步进扫描分析器。在数据采集过程中,偏振器和补偿器固定,以提供高的椭偏测量精度。

     


    红外光谱椭偏仪SENDIRA

     

    椭偏振动光谱

    利用红外光谱中分子振动模的吸收带,可以分析薄膜的组成。此外,载流子浓度可以用傅立叶红外光谱仪FTIR测量。

    傅立叶红外光谱仪FTIR完全适用

    集成赛默飞世尔Thermo Fisher制造的型号FTIR iS50红外光谱仪。它也适用于一般的振动光谱。

     

     
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