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    匀胶、显影处理系统-Auto Track

     

    产品特点:

    同一设备实现2"-8"晶圆兼容.

    涂胶、显影?樽源萃/恢复功能.

    同片盒内每个硅片可分别制定工艺运行.

    干湿分离,电液分隔.

    维护省力、简便.

    设备和各工位全封闭设计,不受外环境干扰可独立增加层流罩,提升小环境洁净度.

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