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    URE- 2000B

     

     主要产品技术特征及指标:

    ●采用专利技术--积木错位蝇眼透镜(109个)消衍射和线条陡直增强技术,
      提高实用光刻分辨力。
    ●采用i线(365nm)紫外曝光光源和先进的光学系统实现高均匀照明,光
      源聚光角小,平行性好。
    ●配备双目双视场显微镜和CCD图像对准系统,采用22寸宽屏液晶显示
      器,可同时观察实时对准过程,也可存储记录曝光结果。
    ●采用三点式加球气浮调平机构自动样片调平,对大小样片具有高调平
      精度。
    ●曝光参数设定采用计算机控制,智能化过程操作,菜单界面友好。
    ●关键器件采用进口国际品牌产品,整机可靠性高。
    ●支持真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种
    功能。
    ●曝光面积:150mm×150mm;对准精度:≤±0.8 μm。
    ●掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸。
    ●光刻分辨力:0.8-1 μm(胶厚2 μm的正胶)。
    ●曝光方式:定时(倒计时方式),0.1s-9999s任意设定,设定精度0.1s。
    ●最大胶厚:500 μm(SU8胶,用户提供匀胶条件)。
    ●汞灯功率:1000W(直流,德国欧司朗,长寿命型)。
    ● 照明不均匀性: 2.5%(Φ100mm 范围),5%(Φ150mm范围)。


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